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半導(dǎo)體探針臺的基礎(chǔ)認(rèn)識

文章作者:飛奇科技      閱讀量:7

半導(dǎo)體探針站是一種完善的工具,用于測試硅晶片,裸片和開放式微芯片上的電路和器件。關(guān)于探針臺兩個常見的問題是:

#探針臺#的作用是什么?

探針臺允許用戶將電探針,光學(xué)#探針#或#RF探針#放置在硅晶片上,從而可以測試設(shè)備。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。


在晶圓級進(jìn)行的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試設(shè)備,從而可以洞悉哪些工藝步驟將缺陷引入到了成品當(dāng)中。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。


最后,探針臺通常用于研發(fā),產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用程序,工程師需要靈活,精確的工具來對設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行測試。


探針臺如何工作?
探針臺可提供用于固定晶圓或晶片的設(shè)備,并使用“階段”精確定位設(shè)備。機(jī)械手放置在稱為“壓板”的平面上。用戶將探針臂和探針尖端安裝到操縱器中,并使用安裝在壓板上方的顯微鏡將探針探針放置在設(shè)備上的正確位置上。將所有探針尖都設(shè)置在正確的位置后,即可對設(shè)備進(jìn)行測試。對于具有多個管芯的晶片,用戶可以抬起壓板,這將使探針尖端與管芯分離,然后將載物臺移至下一個管芯,使用顯微鏡查找精確的位置。由于模具是相同的,因此一旦平臺處于適當(dāng)位置,所有的探針尖端都將正確放置,并且壓板可以放下,并且可以測試下一個模具。

這是通過手動系統(tǒng)手動完成的。半自動和全自動系統(tǒng)使用電動工作臺和機(jī)器視覺來自動化該模具到模具的移動過程,從而提高了探針臺的生產(chǎn)率并減少了進(jìn)行多次測試所需的人工。

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