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半導(dǎo)體探針臺(tái)的基礎(chǔ)認(rèn)識(shí)

文章作者:飛奇科技      閱讀量:7

半導(dǎo)體探針站是一種完善的工具,用于測(cè)試硅晶片,裸片和開(kāi)放式微芯片上的電路和器件。關(guān)于探針臺(tái)兩個(gè)常見(jiàn)的問(wèn)題是:

#探針臺(tái)#的作用是什么?

探針臺(tái)允許用戶(hù)將電探針,光學(xué)#探針#或#RF探針#放置在硅晶片上,從而可以測(cè)試設(shè)備。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。


在晶圓級(jí)進(jìn)行的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試設(shè)備,從而可以洞悉哪些工藝步驟將缺陷引入到了成品當(dāng)中。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。


最后,探針臺(tái)通常用于研發(fā),產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用程序,工程師需要靈活,精確的工具來(lái)對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行測(cè)試。


探針臺(tái)如何工作?
探針臺(tái)可提供用于固定晶圓或晶片的設(shè)備,并使用“階段”精確定位設(shè)備。機(jī)械手放置在稱(chēng)為“壓板”的平面上。用戶(hù)將探針臂和探針尖端安裝到操縱器中,并使用安裝在壓板上方的顯微鏡將探針探針?lè)胖迷谠O(shè)備上的正確位置上。將所有探針尖都設(shè)置在正確的位置后,即可對(duì)設(shè)備進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于具有多個(gè)管芯的晶片,用戶(hù)可以抬起壓板,這將使探針尖端與管芯分離,然后將載物臺(tái)移至下一個(gè)管芯,使用顯微鏡查找精確的位置。由于模具是相同的,因此一旦平臺(tái)處于適當(dāng)位置,所有的探針尖端都將正確放置,并且壓板可以放下,并且可以測(cè)試下一個(gè)模具。

這是通過(guò)手動(dòng)系統(tǒng)手動(dòng)完成的。半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)使用電動(dòng)工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化該模具到模具的移動(dòng)過(guò)程,從而提高了探針臺(tái)的生產(chǎn)率并減少了進(jìn)行多次測(cè)試所需的人工。

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